球差矫正透射式电子显微镜

一、什么是 AC-TEM

球差矫正透射电子显微镜（AC-TEM）是原子级超高分辨率分析设备，通过多极子校正器抵消电磁透镜球差，将分辨率从传统 TEM 的纳米级提升至亚埃级（0.1nm 以下），可直接观测原子排列与晶格结构，是半导体先进制程与失效分析的终极表征手段

二、核心技术优势

• 原子级分辨率：点分辨率可达 0.08–0.11nm，清晰呈现原子柱与晶格条纹。
• 球差精准补偿：通过多极子校正器抵消球差，消除像差畸变，成像质量远超传统 TEM。
• 双模式协同：支持 TEM（形貌 / 晶格）与 STEM（原子衬度 + 元素分析）双模式。
• 纳米区成分分析：搭配 EDS/EELS，实现原子尺度元素分布与化学态表征。

三、主要检测项目

• 原子级结构观测：晶格排列、位错、层错、晶界与相界分析。
• 超薄层精确测量：栅氧、高 k 介质、金属层等亚纳米级厚度与均匀性检测。
• 界面微观表征：Si/SiO₂、HfO₂/ 基板等界面原子结构与互扩散分析。
• 缺陷溯源：纳米级短路 / 断路、漏电、击穿点的原子结构失效分析。
• 先进工艺验证：7nm/5nm 节点晶体管、FinFET、GAA 结构精度验证。

四、适用产品

先进制程芯片（7nm/5nm/3nm）、功率半导体、第三代半导体（SiC/GaN）、存储芯片、二维材料、高端封装器件等。

五、应用场景

• 先进工艺研发：原子尺度制程优化与良率提升。
• 极致失效分析：纳米级缺陷与漏电、击穿等问题的根源定位。
• 材料性能攻关：微观结构与器件性能关联性研究。
• 竞品逆向解析：先进芯片内部原子结构与工艺对标。

六、服务优势

上海北测芯源配备高端球差矫正 TEM，提供FIB 制样 + AC-TEM/STEM 成像 + EDS/EELS 分析一站式服务，原子级精准解析，助力客户攻克先进制程与深层失效难题。