原子力显微镜（AFM）
一、什么是 AFM
原子力显微镜是高精度表面微观检测设备，依靠探针感应样品表面作用力，精准测绘材料三维表面形貌，实现纳米级平整度、粗糙度检测，是半导体材料与工艺质控核心设备。 上海北测芯源可提供专业 AFM 微观表征分析服务。
二、主要检测项目
- 样品表面粗糙度、起伏形貌测试
- 薄膜表面平整度、晶粒形态观测
- 涂层厚度、表面凸起与凹陷测量
- 表面划痕、微坑、颗粒缺陷排查
- 晶圆、镀膜层表面微观结构分析
三、适用产品
半导体晶圆、光刻胶层、氧化薄膜、电极镀层、芯片基材、各类精密功能材料
四、应用场景
材料研发工艺优化、薄膜制程品质检测、表面工艺验证、微观缺陷分析、产品性能对标检测
五、服务优势
检测精度高，无损无损伤，数据精准可量化，精准把控表面工艺水准，助力客户优化生产制程。
