去层Delayer
1、项目介绍:
芯片去层(Delayer)是一种芯片分析和研究技术,用于去除芯片上的金属层和介质层,以便进行更深入的观察和分析。在芯片制造过程中,会使用多层金属层和介质层来连接和隔离不同的电路元件。然而,这些层也可能妨碍对芯片内部结构和器件的观察和分析。
通过芯片去层技术,可以通过化学或物理的方法去除芯片上的金属层和介质层,使得芯片内部的结构和器件更加可见和可分析。这样可以帮助研究人员深入了解芯片的内部构造、电路设计和器件布局,以及可能存在的缺陷和故障。
芯片去层技术常用于半导体行业中的故障分析、失效分析、电子元件分析等领域。它为研究人员提供了更深入的视角,帮助他们解决芯片设计和制造中的问题,并改进产品的性能和可靠性。
Delayer Package Backside(去层减薄封装背面),正装打线芯片背面研磨,露出芯片衬底。
Delayer Package Top-Down(去层减薄封装正面),倒装bump芯片正面研磨,露出芯片衬底。
2、应用优势:
可减薄到大致深度,后续可利用FIB或者PFIB切,减少FIB切片时间,比激光开封后的表面更加平整。减薄后露出衬底做EMMI、OBIRCH分析;正面减薄露出金线可以扎针,确定open位置在芯片还是封装。
