砷化镓铟微光显微镜（InGaAs）

一、什么是 InGaAs 微光显微镜

铟镓砷微光显微镜属于红外微光观测设备，依托 InGaAs 感光成像原理，可捕捉近红外波段发光信号，非接触式快速定位器件内部漏电、击穿、电流聚集等隐性异常，是半导体失效分析核心设备。 上海北测芯源专业提供 InGaAs 微光检测服务。

二、主要检测用途

• 定位芯片静电损伤、过压击穿发光点
• 排查器件漏电异常、局部大电流发热发光区域
• 识别晶圆暗伤、晶格缺陷、工艺隐性不良
• 功率器件、射频器件反向击穿点位定位
• 封装内部电路异常发光失效排查

三、适用产品

砷化镓器件、光电器件、射频芯片、功率半导体、车载芯片、集成电路、光电传感器等。

四、应用场景

新品工艺验证、电性不良失效定位、ESD 损伤分析、过流烧毁溯源、来料隐性缺陷筛查。

五、服务优势

成像清晰灵敏，可精准锁定微观失效点位，无损检测效率高，搭配电性测试联合分析，快速出具判定结果与专业检测报告。