成分分析
穿透式电子显微镜 (TEM)
材料分析是将材料的成分、特性与结构，在微观尺度下的一丝差异，便足以改写宏观世界的性能表现。无论是前沿技术开发，还是精准失效分析，材料分析始终是您突破瓶颈、透视真相的关键力量。然而穿透式电子显微镜（Transmission Electron Microscopy, TEM）是一种利用高能量电子束穿透超薄样品并成像的分析仪器。其影像分辨率可达0.1奈米（原子等级），主要用于观察材料的微结构、晶格排列及晶体缺陷。融合高分辨率成像与元素分析能力，TEM成为奈米尺度下材料特性解析的核心利器。
服务领域
半导体产业：晶圆制造、IC设计/封装、先进制程开发
• LED产业：磊晶、芯片制程、封装与可靠性分析
• 光电产业：光通信、感测元件、显示器技术
• 微机电（MEMS）产业：传感器、致动器、系统封装分析
服务项目
样品前处理
利用双束聚焦离子束（Dual-beam FIB）进行样品前处理，可实现精确定点切割、剖面制备及透射电镜（TEM）薄片样品加工。
微结构观察技术
扫描式电子显微镜（SEM）：观察样品表面形貌与二次电子像，适用于微结构、断口、缺陷等分析。
穿透式电子显微镜（TEM）：分析样品内部晶体结构、晶格缺陷、界面及奈米级特征。
双束聚焦离子束（Dual-beam FIB）：兼具离子束切割与电子束观察功能，用于精确定点剖面制备及原位结构观察。
成份分析技术
扫描式电子显微镜（SEM）：搭配EDS（能谱仪），对样品微区进行元素成分定性及定量分析。
穿透式电子显微镜（TEM）：结合EDS或EELS（电子能量损失谱），对奈米级结构进行高空间分辨率的成分分析。
